MEMS cihazının üretim yöntemi

teknik alan

1. Mevcut açıklama, geliştirilmiş stres dağılımına sahip bir mems cihazı ile ilgilidir.

Arka plan tekniği:

2. İyi bilindiği gibi, aktüatörler ve/veya sensörler gibi mems ("Mikro Elektro Mekanik Sistemler") elektronik cihazları tipik olarak bir boşluğu barındıran bir alt tabaka üzerinde oluşturulur ve yukarıdaki boşluktan asılı duran ve elastik ile sınırlanan hareketli yapıları içerir. eleman sabit alana. Substrat, hareketli yapı ve elastik eleman entegre olabilir ve tipik olarak silikon gibi bir yarı iletken malzemeden oluşturulur.

3. Bu elektronik cihazlar ayrıca şunları içerir: hareketli yapıya bağlı bir veya daha fazla çalıştırma ve/veya algılama yapısı; ve aynı alt tabakaya entegre edilmiş veya farklı alt tabakalarda oluşturulmuş elektrik kontrol devreleri ve çalıştırma ve/veya algılama yapısına Kuplaj, çalıştırma yapısına elektrik tahrik sinyalleri sağlayabilir ve/veya algılama yapısından elektrik algılama sinyallerini alabilir.

4. Ayrıntılı olarak, çalıştırma yapısı, karşılık gelen bir elektrikli tahrik sinyali tarafından kontrol edildiğinde hareketli yapının yer değiştirmesine, örneğin dönmesine neden olabilir. Benzer şekilde, algılama yapısı, hareketli yapının çalışma koşullarının bir fonksiyonu olan ve örneğin hareketli yapının dönme aralığının bir fonksiyonu olan karşılık gelen elektrik sinyallerini üretecek şekilde konfigüre edilir.

5. Elektrik kontrol devresi ve çalıştırma ve/veya algılama yapısı, tipik olarak, örneğin bir iletken katman yığınından oluşturulan iletken yollar ile birbirine elektriksel olarak bağlıdır.

6. İletken raylar genellikle sabit alanlar, elastik elemanlar ve bazen kısmen hareketli yapılar üzerinde uzanır.

7. Kullanımda, hareketli yapının yer değiştirmesi, hareketli yapıyı sabit alanla sınırlayan elastik elemanların deformasyonu, örneğin bükülmesi ile sonuçlanır.

Bize Ulaşın:

Email: zhang@pride-cnc.com

Tel: artı 86-755-23699351

Çete: artı 8618666663894