Safir Gofret Doğrudan Yapıştırma Yöntemi ve Safir Basınca Duyarlı Bir Yapı İçin İşlem

1. Mevcut buluş, mems teknolojisinin teknik alanına, özellikle safir basınca duyarlı bir yapıya sahip safir gofretlerin doğrudan bağlanmasına yönelik bir yönteme aittir.

Arka plan tekniği:

2. Geleneksel yarı iletken basınç sensörlerinin çalışma sıcaklığı genellikle 600 derecenin altındadır. sic piezodirençli basınç sensörünün maksimum çalışma sıcaklığı 600 derecedir, soi basınç sensörünün maksimum çalışma sıcaklığı 500 derecenin altındadır ve silikon-safir basınç sensörünün maksimum çalışma sıcaklığıdır. Sıcaklık 350 derece. Elektrikli basınç sensörlerinin daha yüksek sıcaklıktaki ortamlarda uygulanması zordur.

3. Şu anda, İngiliz oxsensis şirketinin wave-phire dpt950 fiber optik basınç sensörü gibi safir çiplere dayalı fiber optik basınç sensörü ürünleri yurtdışında ortaya çıktı, maksimum çalışma sıcaklığı 600 dereceye ulaşabilir ve prob ön ucu ulaşabilir 1000 derece. Ancak, safir çiplere dayalı optik fiber basınç sensörlerinin araştırma sonuçları Çin'de rapor edilmedi. Çin patent belgesi cn103234673, aşağıdakileri içeren yüksek sıcaklığa dayanıklı bir basınç sensörü mikro-nano yapısını açıklar: bir silikon karbür diyafram, bir yansıtıcı film, bir yarı yansıtıcı film, bir bağlayıcı katman, bir silikon karbür substrat, bir kapsülleme katmanı ve bir safir Optik lif; yansıtıcı film kaplıdır Silisyum karbür diyaframın ortasında, yarı yansıtıcı film safir elyafın ucunda kaplanır, yapıştırma tabakası (silikon dioksit) silisyum karbür diyafram ve silisyum karbür substrat arasında bulunur, ve safir elyaf, kapsülleme tabakası (yüksek sıcaklık seramik tutkalı) yoluyla silikon karbür alt-tabakaya bağlanır. Yukarıdaki basınç sensörünün hazırlama işlemi, yüksek basınç algılamasını gerçekleştirmek için bir silikon karbür diyafram üzerine kaplanmış yansıtıcı bir film ve bir safir optik fiberin ucuna kaplanmış bir yarı yansıtıcı film kullanarak bir Fabry-Parot girişim boşluğu oluşturmaktır. sıcaklık ortamı.

4. Şu anda, yerli safir gofret (gofret düzeyinde) doğrudan bağlama işlemi hala teorik araştırma aşamasındadır ve henüz olgun safir gofret (gofret düzeyinde) doğrudan bağlama işlemi teknolojisi yoktur. Çin'de, gofret seviyesinde yapıştırma genellikle silikon bazlı malzemelere yöneliktir ve yapıştırma sıcaklığı silikon-silikon yapıştırma, silikon-cam anodik yapıştırma, vb. gibi 500 derecenin altındadır. Çin patent belgesi cn 105236350a, doğrudan yapıştırmayı açıklar safir basınca duyarlı çipler için yöntem, sadece sıcaklık 1350 derecedir, yapıştırma işlemi sırasında basınç (basınç) kontrolü yoktur ve sıcaklık ve basıncın kuplaj kontrolü yoktur.

Bize Ulaşın:

Email: zhang@pride-cnc.com

Tel: artı 86-755-23699351

Çete: artı 8618666663894